真空科学与工程系围绕国家半导体集成电路、新能源、航空航天及低碳环保等领域的战略需求，以“真空工程”为特色，融合过程装备、能源动力工程、航空航天工程及环境工程等多学科优势，构建了跨学科协同创新的教学科研体系，主要研究方向及技术包括：真空机械研发、复杂真空系统设计、真空设备故障诊断、多尺度流动与传热、环境能源材料、功能薄膜制备、环保设备研发、微纳流动理论与微纳机械等。
本系依托“动力工程及工程热物理”一级学科，设有学术学位硕士点、专业学位硕士点及博士点，现有教师22人，其中教授8人、副教授8人、讲师6人，形成了一支结构合理、学术水平高的师资队伍。系内拥有多个专业性实验室及研究中心。近年来承担国家级、省部级等科研任务300余项，累计科研经费2亿元，获教育部技术发明奖、辽宁省科技进步奖等30余项，发表SCI/EI等高水平论文800余篇，授权发明专利160余项，参与制定国际/国家标准10余部，多项成果实现应用转化。与国内外众多知名企业、高校及研究机构保持深度合作，学术影响力显著。未来，本系将持续强化真空工程特色，致力于建成国内一流的高端装备研发与可持续发展技术创新基地。
